激光光谱原位分析仪(LIBSOPA-100)是激光诱导击穿光谱分析技术(LIBS)和原位统计分布分析技术(OPA)完美结合的新型分析仪器。激光诱导击穿光谱原位统计分布分析技术(LIBSOPA)通过高能激光聚焦于样品表面,样品被击穿形成高温等离子体,通过检测等离子体光谱信号,获得样品的成分及元素分布信息的技术。其分析原理是:样品表面被高能激光击穿形成等离子体,等离子体光线经过滤波,分光之后被多通道的光电倍增管检测系统检测。根据光谱特征谱线波长得出被击穿位点的元素种类;定标后对应谱线的强度表示被击穿位点元素的浓度。借助精密三维移动平台在样品激发表面很好的定位和记录,实现任意点扫描,一维线性扫描,一维深度分析和二维面扫描分析,并据此获得与材料原位置相对应的各元素原始含量及状态信息,可以用统计解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。该方法不但有激光光谱的非接触分析,微区分析,深度分析的优点,又具备原位统计分布分析技术的原位性和统计性。LIBSOPA-100的研制成功为材料成分分析,缺陷分析,涂镀层等样品的分析应用提供了新的技术手段及质量判据。
1. 首台LIBS技术与OPA技术结合的新型分析仪器,多项专利技术。
2. 多元素同时分析。28个元素通道,包含C,P,S元素,线性关系良好;
3. 预剥蚀时间,积分时间,门控延迟时间动态可调。
4. 分析简便、快速,无前处理过程,避免样品被污染;
5. 分析不受样品尺寸,状态,导电性,难熔与否的影响;
6. LIBS具有高灵敏度与高空间分辨率,非常适合涂层材料、薄膜材料分析;
7. 微小烧蚀光斑可进行局部微区分析,表面微损分析,适合材料缺陷分析;
8. 非接触测量,响应迅速,分析时间短,可满足实时分析以及在线分析的要求。
激光光谱原位分析仪技术参数
激光光源
Continuum SureliteTM III-10 YAG激光器
波长:1064 nm
能量:800
脉宽:4~6 ns
光束发散角:0.6 mrads
真空光学系统
巴邢—龙格架法,光栅焦距750 mm
高发光全息光栅,刻线为2400条/mm
谱线范围:170 ~ 800 nm
色散率
一级色散率:0.55 nm/mm
二级色散率:0.275 nm/mm
分辨率:优于0.01 nm
标准检测通道数量:25个
样品扫描定位系统
三维工作台
行程:X轴75mm,Y轴75mm,Z轴100mm
数控步进电机驱动
位置重复精度为0.01mm
工件较大重量:12Kg
CCD成像系统
联合数控工作台实现样品的定位和观察
视场大小:2~10mm
聚焦精度:0. 1mm
电源要求
220V/20A
外形尺寸
宽×深×高(105 cm×66 cm×120 cm)
重量
毛重约400 Kg
工作环境
温度:18~29℃
湿度:≤60%